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      公司名稱：哈爾濱芯明天科技有限公司
      聯系人：楊先生
      固話：0451-86268790
      手機：17051647888
      地址：黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產業(yè)園I2棟1層
  
      

      

      


  
      
    
      首頁 > 產品中心 > 壓電納米掃描臺系列 > 放大機構式 > 芯明天放大機構式壓電掃描臺
          
            
      
     
             
      
                  
                  
      
				     
      產品名稱：芯明天放大機構式壓電掃描臺
      
				     
      產品型號：P12
      					 
					 
      產品報價：
      
					 
      產品特點：芯明天放大機構式壓電掃描臺 P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動、1~3維并聯式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應用。壓 電掃描臺可以實現單軸320μm的位移行程，一體式結構使得多維運動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應用的需求。
      
					 
      更新日期：2025-02-23
      
					 
				  
      
             
      
        
       
      
      
		     
             
    
      P12芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料：
      
    
         芯明天放大機構式壓電掃描臺 P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動、1~3維并聯式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應用。壓 電掃描臺可以實現單軸320μm的位移行程，一體式結構使得多維運動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應用的需求。
      芯明天放大機構式壓電掃描臺P12壓電掃描臺特性
      • 大位移320μm
      • 大承載0.8kg
      • 臺體中心通孔
      • 閉環(huán)重復定位精度高
      1~3維掃描臺
         P12系列壓電納米定位臺為1~3維直線壓電掃描臺，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多種規(guī)格型號，通孔直徑25mm 或35mm可選。
      小體積、大位移、中心通孔
         P12系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，超小的體 積外形，尺寸僅為60×60×24mm，可以實現大320μm 的掃描范圍，中心通孔可選25mm或35mm，35mm通孔 對應臺體外形尺寸為70×70×24mm。
         臺體采用FEA有限元分析優(yōu)化設計，具有零摩擦、超高 導向精度、納米級分辨率等優(yōu)點。
         P12系列壓電掃描臺內置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷， 確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。
      P12.Z300閉環(huán)穩(wěn)定時間圖 
         P12系列壓電掃描臺具有優(yōu)異的階躍穩(wěn)定性，下圖為P12.Z300 大位移320&#956;m閉環(huán)穩(wěn)定時間圖。 
      P12壓電掃描臺典型應用
      • 掃描干涉 • 共焦顯微
      • 晶圓定位 • 表面測量
      • 圖像處理與穩(wěn)定 • 光學捕獲
      P12壓電掃描臺技術參數：
       
       
      型號
       
      尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)
       
      P12.X100S P12.X100K
       
      P12.Z100S P12.Z100K
       
      P12.Z200S P12.Z200K
       
      P12.Z300S P12.Z300K
       
      P12.XY100S P12.XY100K
       
      P12.XYZ100S P12.XYZ100K
       
      單位
      運動自由度
      X
      Z
      Z
      Z
      X、Y
      X、Y、Z
       
      標稱行程范圍(0~120V)
      80
      80
      160
      240
      80/軸
      80/軸
      μm±20%
      大行程范圍(-20~150V)
      110
      110
      210
      320
      110/軸
      110/軸
      μm±20%
      傳感器類型
      SGS/-
      SGS/-
      SGS/-
      SGS/-
      SGS/-
      SGS/-
       
      通孔尺寸
      Ø25/Ø35
      Ø25/Ø35
      Ø25/Ø35
      Ø25/Ø35
      Ø25/Ø35
      Ø25/Ø35
      mm
      閉/開環(huán)分辨率
      7/4
      7/4
      7/4
      11/5
      7/4
      7/4
      nm
      閉環(huán)線性度
      0.05/-
      0.05/-
      0.1/-
      0.4/-
      0.05/-
      0.15/-
      %F.S.
      閉環(huán)重復定位精度
      0.01/-
      0.01/-
      0.03/-
      0.15/-
      0.03/-
      0.05/-
      %F.S.
      俯仰/偏航/滾動
      <10
      <10
      <15
      <15
      <10
      <15
      µrad
      推/拉力
      30/10
      30/10
      30/10
      30/10
      25/8
      20/4
      N
      運動方向剛度
      0.3
      0.3
      0.2
      0.1
      X0.25/Y0.3
      X0.3/Y0.25/Z0.2
      N/μm±20%
      空載諧振頻率
      230
      220
      150
      100
      X180/Y230
      X230/Y180/Z150
      Hz±20%
      閉/開環(huán)空載階躍時間
      10/0.8
      10/0.8
      15/1.6
      30/2.4
      15/0.8
      30/0.8
      ms±20%
       
      閉環(huán)空載 工作頻率
      10%行程
      100
      100
      50
      30
      100
      50
       
      Hz±20%
      行程
      9
      10
      5
      3
      9
      5
      大承載
      0.8
      0.8
      0.5
      0.4
      0.7
      0.6
      kg
      靜電容量
      1.8
      1.8
      3.6
      5.4
      1.8/軸
      1.8/軸
      μF±20%
      材質
      鋼、鋁
      鋼、鋁
      鋼、鋁
      鋼、鋁
      鋼、鋁
      鋼、鋁
       
      重量
      140
      140
      200
      260
      200
      260
      g±5%
      以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
      
    
    
      
      
                      
      
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        地址：黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產業(yè)園I2棟1層
      
      
    
      
    
      
      
      聯系人：楊先生
      手機號碼：17051647888
      固定電話：0451-86268790
      
      
      
    
      
  
      
   
      
			
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