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      公司名稱：哈爾濱芯明天科技有限公司
      聯系人：楊先生
      固話：0451-86268790
      手機：17051647888
      地址：黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產業(yè)園I2棟1層
  
      

      

      


  
      
    
      首頁 > 產品中心 > 壓電納米掃描臺系列 > 放大機構式 > 芯明天放大機構式壓電掃描臺
          
            
      
     
             
      
                  
                  
      
				     
      產品名稱：芯明天放大機構式壓電掃描臺
      
				     
      產品型號：P-18系列
      					 
					 
      產品報價：
      
					 
      產品特點：芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為&#216;35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。
      
					 
      更新日期：2025-02-23
      
					 
				  
      
             
      
        
       
      
      
		     
             
    
      P-18系列芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料：
      
    
        芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。
      芯明天放大機構式壓電掃描臺P-18壓電掃描臺特性
      • 大位移370μm
      • 大承載3.5kg
      • 通孔直徑：Ø35mm
      • 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快
      1~3維掃描臺
      P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。
      大位移、大承載、高剛度、高頻響
              P18系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動，可以 實現大370μm的掃描范圍，運動直線性好，可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復定位精度。
              P18采用*的結構設計，具有大剛度、大出力、大承 載等特點，大承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配 套芯明天大功率控制器響應時間可達5ms，是精密加 工、半導體制造、掃描顯微等應用。
      P-18壓電掃描臺典型應用
      • 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微
      • 干涉/計量 • 表面檢測
      • 半導體測量 • 光學計量
      應用實例-納米光刻
       在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應用于納米光刻實驗。
      P-18壓電掃描臺技術參數：
       
      型號
       
      尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)
       
      P18.X200S P18.X200K
       
      P18.X300S P18.X300K
       
      P18.XY200S P18.XY200K
       
      P18.XY300S P18.XY300K
       
      P18.XYZ200S P18.XYZ200K
       
      單位
      運動自由度
      X
      X
      X、Y
      X、Y
      X、Y、Z
       
      標稱行程范圍(0~120V)
      200
      300或±150
      200/軸
      300或±150/軸
      200/軸
      μm±20%
      大行程范圍(-20~150V)
      280
      370或±185
      280/軸
      370或±185/軸
      280/軸
      μm±20%
      傳感器類型
      SGS/-
      SGS/-
      SGS/-
      SGS/-
      SGS/-
       
      通孔尺寸
      Ø35
      Ø35
      Ø35
      Ø35
      Ø35
      mm
      閉/開環(huán)分辨率
      8/5
      10/5
      8/5
      10/5
      8/5
      nm
      閉環(huán)線性度
      0.2/-
      0.2/-
      0.2/-
      0.2/-
      0.2/-
      %F.S.
      閉環(huán)重復定位精度
      0.15/-
      0.1/-
      0.15/-
      0.1/-
      0.15/-
      %F.S.
      俯仰/偏航/滾動
      <10
      <15
      <10
      <15
      <15
      µrad
      推/拉力
      60/20
      150/150
      60/20
      150/150
      30/10
      N
      運動方向剛度
      0.3
      0.5
      X0.3/Y0.3
      X0.5/Y0.5
      X0.1/Y0.1/Z0.1
      N/μm±20%
      空載諧振頻率
      500
      600
      X200/Y450
      X250/Y500
      X300/Y200/Z120
      Hz±20%
      閉/開環(huán)空載階躍時間
      30/5
      30/10
      50/5
      50/10
      50/5
      ms±20%
       
      閉環(huán)空載 工作頻率
      10%行程
      100
      50
      50
      40
      30
       
      Hz±20%
      行程
      30
      15
      15
      10
      5
      大承載
      2
      3.5
      1.5
      3
      1
      kg
      靜電容量
      11
      21
      11/軸
      21/軸
      11/軸
      μF±20%
      材質
      鋁
      鋁
      鋁
      鋁
      鋁
       
      重量
      200
      220
      360
      380
      600
      g±5%

      以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
       
      
    
    
      
      
                      
      
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                請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7
            
        
		
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      全國統(tǒng)一客服電話：
      
        
      17051647888
      
        地址：黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產業(yè)園I2棟1層
      
      
    
      
    
      
      
      聯系人：楊先生
      手機號碼：17051647888
      固定電話：0451-86268790
      
      
      
    
      
  
      
   
      
			
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