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      產(chǎn)品名稱:P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺

      產(chǎn)品型號:

      產(chǎn)品報價:

      產(chǎn)品特點:P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 產(chǎn)品特點: X軸行程 18μm/ 軸、開 / 閉環(huán)可選、Z 向行程 、開 / 閉環(huán)可選、真空版本可選

      更新日期:2025-02-24

      P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺的詳細(xì)資料:

      P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 產(chǎn)品特點

       X軸行程 18μm/ 軸

       開 / 閉環(huán)可選

       Z 向行程 8μm

       開 / 閉環(huán)可選

       真空版本可選

      技術(shù)參數(shù):

      型號

      S-閉環(huán)

      K-開環(huán)

      P63.X18Z8S

      P63.X18Z8K

      單位

      運動自由度

      X、Z

      X、Z


      驅(qū)動控制

      2路驅(qū)動,2路傳感

      2路驅(qū)動


      標(biāo)稱行程范圍(0 ~+120 V)

      X:16, Z:6

      X:16, Z:6

      μm±10%

      Max.行程范圍(0~+150 V)

      X:18, Z:8

      X:18, Z:8

      μm±10%

      傳感器類型

      SGS

      -


      閉/開環(huán)分辨率

      X0.6 Z0.2

      X0.2 Z0.1

      nm

      閉環(huán)線性度

      X:0.3, Z:1

      -

      %F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度

      0.25

      -

      %F.S.

      俯仰/偏航/滾動

      ≤15

      ≤15

      μrad

      空載諧振頻率

      X2/Z1

      X2/Z1

      KHz±20%

      閉/開環(huán)空載階躍時間

      8

      0.5

      ms±20%

      承載能力

      0.5

      0.5

      kg

      靜電容量

      X:1.8, Z0.8

      X:1.8, Z0.8

      μF±20%

      工作溫度范圍

      -20~80

      -20~80

      °C

      材質(zhì)


      出線長

      1.5

      1.5

      m±10mm

      P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 尺寸圖

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