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      產(chǎn)品分類Product categories
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      公司名稱:哈爾濱芯明天科技有限公司
      聯(lián)系人:楊先生
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      產(chǎn)品名稱:小體積超精密電容測微儀

      產(chǎn)品型號:

      產(chǎn)品報價:

      產(chǎn)品特點:小體積超精密電容測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器,主要用于高精度長度(深度、高度、厚度、直徑、錐度)測量、振動測量、微位移檢測等,在航天、航空、汽車、機床、光學器件加工、半導體及其它工業(yè)測控等領(lǐng)域廣泛應用。

      更新日期:2025-02-24

      小體積超精密電容測微儀的詳細資料:

      小體積超精密電容測微儀

      高精度測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器,分為電感式、電容式、激光式。主要用于高精度長度(深度、高度、厚度、直徑、錐度)測量、振動測量、微位移檢測等,在航天、航空、汽車、機床、光學器件加工、半導體及其它工業(yè)測控等領(lǐng)域廣泛應用。


      本次為大家?guī)硪豢钚久魈煨◇w積超精密電容式傳感器。它由兩部分組成,分別為電容探頭及控制盒。電容探頭為非接觸式,尺寸為Φ10mm×18.5mm,通過電容測頭可以測量0~500μm范圍內(nèi)的微小位移,測量分辨率可達1.25nm??刂坪谐叽鐑H有105×26×66mm^3,單通道輸出,體積設(shè)計非常小巧,易集成。整體外觀如下圖所示。

      圖片

      產(chǎn)品特點

      測量范圍 0~500 μm
      分辨率可達1.25nm
      非接觸式測量
      體積小、易集成

      小體積超精密電容測微儀典型應用

      圖片

      電容式傳感器優(yōu)勢

      1.穩(wěn)定性好。電容傳感器的電容值通常與電極材料無關(guān),這有利于選擇具有低溫系統(tǒng)的材料,并且由于它產(chǎn)生的熱量很少,因此對穩(wěn)定性的影響很小。
      2.結(jié)構(gòu)簡單。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,易于確保高精度,并且可以做得很小,可以在特殊環(huán)境下測量,如高低溫、強磁等惡劣環(huán)境。
      3.動態(tài)響應良好。由于極板之間的靜電引力很小,其運動部分可以做得非常小和薄,因此固有頻率很高,動態(tài)響應時間短,并且可以在幾兆赫茲的頻率下工作,特別適合動態(tài)測量。
      4.非接觸式測量。使用非接觸式測量時,可以減小工作表面粗糙度對測量的影響。

      系統(tǒng)組成

      芯明天電容測微儀由兩部分組成,分別為電容測頭/電容傳感器、傳感信號處理控制模塊。

      (1)電容測頭/電容傳感器

      圖片

      芯明天該款電容測頭(即電容傳感器)是圓柱型,采用平行極板原理,當被測物與電容測頭間的距離發(fā)生變化時,它可將這種距離變化轉(zhuǎn)換為相應的容抗變化。
      圖片

      原理圖


      技術(shù)參數(shù)
      型號
      C01D10
      C02D10
      C05D10
      單位
      量程范圍
      0~100
      0~200
      0~500
      μm
      靜態(tài)分辨率
      1.25
      2.5
      5
      nm
      動態(tài)分辨率
      (1kHz)
      50
      100
      200
      nm
      線性度
      50
      100
      200
      nm
      重復度
      2.5
      5
      10
      nm
      傳感器直徑
      10
      mm
      被測表面
      最小直徑
      10
      mm
      傳感器線長
      1.5
      m
      固定方式
      徑向裝夾

      探頭尺寸
      Φ10×18.5
      mm
      重量
      (含線及連接器)
      55
      g



      注:可定制1mm量程版本。



      (2)傳感信號處理控制模塊

      傳感信號處理控制模塊是專為匹配芯明天電容傳感器而研發(fā)設(shè)計,主要功能是將電容傳感器的位移信號轉(zhuǎn)換為電信號。它具有小巧緊湊的外形,非常適用于實驗室及工業(yè)等各種場合的應用。


      圖片

      技術(shù)參數(shù)
      控制器型號
      E75.CapA1-H
      單位
      通道數(shù)
      1

      靜態(tài)分辨率
      0.00125
      %F.S.
      動態(tài)分辨率
      0.05 (2kHz)
      %F.S.
      模擬信號輸出速度
      2
      kHz
      絕對誤差
      ±0.2
      %F.S.
      線性度
      0.05
      %F.S.
      重復精度
      0.0025
      %F.S.
      信號溫度穩(wěn)定性
      <0.005
      %FSO/℃
      長期穩(wěn)定性
      <0.04
      %FSO/月
      帶寬
      2
      KHz(-3dB)
      工作溫度
      +10~+50
      存儲溫度
      -10~+75
      環(huán)境濕度
      <85
      %
      供電電壓
      24VDC/±50mA
      V
      電壓輸出范圍
      (模擬)
      0~10
      V
      傳感器輸出接口
      SMA

      尺寸(L×W×D)
      105×26×66
      mm
      重量
      0.18
      kg



      此外,芯明天具有模塊化的電容傳感器信號處理控制模塊 - E09.CAP系列,它的測量通道數(shù)可在1至12通道間自由選擇,同時也可根據(jù)需求定制更多的測量通道數(shù)。

      圖片

      芯明天E09.CAP系列電容傳感信號處理模塊


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