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      產(chǎn)品名稱:超低溫真空無磁壓電掃描臺(tái)

      產(chǎn)品型號(hào):XD106.XYZ60K

      產(chǎn)品報(bào)價(jià):

      產(chǎn)品特點(diǎn):超低溫真空無磁壓電掃描臺(tái),是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì)

      更新日期:2025-02-24

      XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺(tái)的詳細(xì)資料:

      超低溫真空無磁壓電掃描臺(tái)

      由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺(tái)是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì),可進(jìn)行XYZ三維掃描運(yùn)動(dòng),采用低溫壓電驅(qū)動(dòng),耐低溫可達(dá)4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無磁材料,采用低溫雙絞線,以適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用。


      超低溫真空無磁壓電掃描臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)

      · 低溫真空無磁,耐低溫可達(dá)4K

      · XYZ三維運(yùn)動(dòng)

      · 4K溫度下位移達(dá)30μm/軸

      · 分辨率可達(dá)2nm

      · 開環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

      · 響應(yīng)速度快


      產(chǎn)品應(yīng)用

      · 半導(dǎo)體加工


      · 半導(dǎo)體檢測(cè)

      · 高精密測(cè)試和操作

      · 其他真空無磁要求的納米運(yùn)動(dòng)控制等


      技術(shù)參數(shù)


      型號(hào)
      XD106.XYZ60K
      運(yùn)動(dòng)自由度
      X、Y、Z
      驅(qū)動(dòng)電壓
      0~60V@常溫
      0~150V@低溫4K
      標(biāo)稱行程范圍(常溫)
      70μm/軸
      @0~60V,常溫
      標(biāo)稱行程范圍(低溫)
      30μm/軸
      @0~150V,4K溫度
      中心通孔直徑
      10mm
      分辨率
      2nm
      空載諧振頻率
      X415/Y465/Z497Hz
      帶載200g諧振頻率
      XY105/Z229Hz
      靜電容量
      XY5.4μF,Z10.9μF
      材質(zhì)
      承載能力
      200g
      重量
      220g
      使用方向
      倒置使用
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