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      產(chǎn)品名稱:P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)

      產(chǎn)品型號(hào):

      產(chǎn)品報(bào)價(jià):

      產(chǎn)品特點(diǎn):P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80&amp;amp;amp;amp;#215;80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

      更新日期:2025-02-24

      P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)的詳細(xì)資料:

      P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

      特性:

      •  θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng) • 開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄


      應(yīng)用實(shí)例

      P54系列壓電偏擺臺(tái)以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光等領(lǐng)域。

      典型應(yīng)用

      • 光束掃描 • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲

      • 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

      • 微操作 • 掩模與晶片位置調(diào)整

      閉環(huán)傳感精度高

      P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限 元分析優(yōu)化,使角度偏移達(dá)到小,無(wú)空回、無(wú)摩擦。

      采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad,分 辨率高達(dá)0.05μrad,可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現(xiàn)0.1%F.S. 的重復(fù)定位精度。

      臺(tái)體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為 80×80mm,P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)是亞微弧度精密光束調(diào)整、 計(jì)量、定位等應(yīng)用的選擇。

      負(fù)載大鏡片

      P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透 射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。


      推薦控制器

      E01

      E72

      E70


      頁(yè)碼 157

      頁(yè)碼 163

      頁(yè)碼 167





      3路輸出

      3路輸出

      3路輸出


      上位機(jī)通信、模擬、旋鈕

      模擬、上位機(jī)通信

      模擬與數(shù)字控制


      開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

      開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

      開(kāi)環(huán)/閉環(huán)


      平均功率7W/通道

      平均功率6W/通道

      平均功率5W/通道


      P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)技術(shù)參數(shù):


      型號(hào)

      尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

      P54.T2S P54.T2K


      單位

      運(yùn)動(dòng)自由度

      θx, θy


      標(biāo)稱偏擺角度 (0~+120V)

      ±0.8/ 軸

      mrad±20%

      大偏擺角度 (-20~+150V)

      ±1.1/ 軸

      mrad±20%

      傳感器類型

      SGS/-


      閉/開(kāi)環(huán)偏擺分辨率

      0.25/0.05

      μrad

      閉環(huán)線性度

      0.2/-

      %F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度

      0.1/-

      %F.S.

      推/拉力

      40/8

      N

      運(yùn)動(dòng)方向剛度

      0.5

      N/μm±20%

      空載諧振頻率

      300

      Hz±20%

      閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

      20/3.5

      ms±20%


      閉環(huán)空載 工作頻率

      10%行程

      50


      Hz±20%

      行程

      15

      大承載

      1

      kg

      靜電容量

      3.6/ 軸

      μF±20%

      材質(zhì)

      鋁、鋼


      重量

      510

      g±5%

      以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。


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