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      三維壓電掃描臺用于顯微鏡探針校準(zhǔn)

      更新時(shí)間: 2020-08-17

      顯微鏡中的探針校準(zhǔn)通常需要一個(gè)中心通孔(用于光線通過)。 P15系列三維壓電掃描臺具有66×66mm的自由中心孔,非常適合透射光等此類相關(guān)應(yīng)用。運(yùn)動(dòng)行程為300μm/軸,具有高的直線度,平臺內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu),使其具有更高的剛度和直線度。可選擇集成的閉環(huán)反饋傳感器保證納米精度的長期高精度樣品調(diào)整。

      P15系列壓電掃描臺還可以輕松與其他機(jī)械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。它們適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。

      特點(diǎn)

      XYZ三維直線運(yùn)動(dòng)

      •通孔尺寸66×66mm

      設(shè)計(jì)緊湊

      固態(tài)鉸鏈確保高可靠性

      納米級/亞納米級高分辨率

      •行程范圍300μm/軸

      •可選配閉環(huán)傳感器

      階躍時(shí)間

      閉環(huán)上升曲線,滿行程階躍時(shí)間60ms。

      技術(shù)參數(shù)

      型號P15.XYZ300

      運(yùn)動(dòng)自由度XYZ

      行程范圍(0~120V)240μm/軸

      行程范圍(0~150V)300μm/軸

      閉環(huán)傳感器SGS

      通孔尺寸66×66mm

      閉/開環(huán)分辨率13/6 nm

      閉環(huán)線性度0.2%F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度0.1%F.S.

      俯仰/偏航/滾動(dòng)<30μrad

      推/拉力50/10N

      運(yùn)動(dòng)方向剛度0.1N/μm

      空載諧振頻率X/Y/Z):450/550/120Hz

      閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間60/10ms

      承載能力0.5kg

      靜電容量10.8μF/軸

      材質(zhì)

      重量900g

      線長:1.5m

       

      應(yīng)用案例:

      全國統(tǒng)一客服電話:

      17051647888

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