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      高精度壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)用于電子器件無損檢測

      更新時(shí)間: 2020-08-10

      現(xiàn)如今,半導(dǎo)體器件、印刷電路板等電子器件在很多領(lǐng)域都得到廣泛應(yīng)用,這些電子器件的性能直接影響整個(gè)系統(tǒng)的性能,它們的可靠性起到了很重要的作用。隨著電路板上元器件密度的日益增大,器件間的連接點(diǎn)只有微米級,常規(guī)的檢測手段受到了極大的限制,因?yàn)樾枰雀叩臏y試方法。

      光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)以其檢測速度快、精度高等特點(diǎn)受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái),使顯微熱像在四個(gè)依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像,形成微掃描模式,顯微成像處理系統(tǒng)通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。

      其中高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)以其旋轉(zhuǎn)角度大、精度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),成為該系統(tǒng)中的核心器件。

      芯明天P21為一維θz 壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái),產(chǎn)品體積小巧,大旋轉(zhuǎn)角度7.5mrad,承載能力達(dá)0.1kg,可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

      P21一維旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,臺(tái)體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),無摩擦、無回差,可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度,在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。

      技術(shù)參數(shù)

      型號P21.R7

      運(yùn)動(dòng)自由度θz

      旋轉(zhuǎn)角度(0~120V)6mrad(≈1240

      旋轉(zhuǎn)角度(0~150V)7.5mrad(≈1500

      閉環(huán)傳感器SGS

      閉/ 開環(huán)分辨率0.4/0.2μrad

      閉環(huán)線性度0.5%F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度0.2%F.S.

      推/拉力10/5N

      運(yùn)動(dòng)方向剛度1 N/μm

      空載諧振頻率1.1kHz

      閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間30/1.5ms

      承載能力0.1kg

      靜電容量1.8μF

      材質(zhì)

      重量105g

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