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      壓電物鏡掃描器的特性說(shuō)明
      		
                          
      
                          
      
                            點(diǎn)擊次數(shù)：2593 發(fā)布時(shí)間：2018/5/16
                          
      
                          
      
                            
      
                            
      
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                                  詳細(xì)介紹： 
                                   
                                
      
                                
      
                                  
      壓電物鏡掃描器的特性說(shuō)明
      　　產(chǎn)品特性
      　　外形尺寸：40x48x34.5mm，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，靈活的螺紋轉(zhuǎn)接器，zui大螺紋接口M28；
      　　行程為100um，分辨率為0.5nm；
      　　采用無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，快速響應(yīng)；
      　　內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
      　　內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開(kāi)/閉環(huán)可供選擇。
      　　壓電物鏡掃描器是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)壓電物鏡位移器，壓電物鏡位移器內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，壓電物鏡位移器內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電位移器具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。
      		
                                
                                 
                            
      		
                          
      
                      
      
      
    
      
  
      

      




      
  
      
    
      
      
      
      
      
        
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