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      首頁 > 技術(shù)文章 > P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達(dá)毫米！
      
    
      
      
      P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達(dá)毫米！
      
    
      
	
      更新時間： 2024-11-04 
      
    
      P60.Z1000系列壓電納米定位臺是一款具有大行程特點的一維Z向運(yùn)動壓電平臺。它的內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，配合無摩擦柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，利用機(jī)構(gòu)放大的驅(qū)動形式，實現(xiàn)大行程精密定位運(yùn)動，行程可高達(dá)1mm。它的負(fù)載可達(dá)1.5kg，在行程大的同時兼具了大負(fù)載的特點。該產(chǎn)品可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制?？蓮V泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。產(chǎn)品外觀如下圖所示。


      圖片

      產(chǎn)品特點
      Z向位移1000μm
      承載1.5kg
      毫秒級響應(yīng)時間
      閉環(huán)重復(fù)定位精度高
      可選閉環(huán)傳感器
      真空版本可選

      產(chǎn)品應(yīng)用
      光學(xué)測量
      光學(xué)檢測
      顯微掃描
      激光干涉
      生物科技
      納米操控技術(shù)
      納米光刻
      納米測量

      技術(shù)參數(shù)

      型號
      P60.Z1000S/K-C
      運(yùn)動方向
      Z
      驅(qū)動控制
      1路傳感/1路驅(qū)動
      標(biāo)稱行程范圍（0~120V）
      800µm
      Max.行程范圍（0~150V）
      1000µm
      傳感器類型
      SGS/-
      分辨率
      35nm/10nm
      閉環(huán)重復(fù)定位精度
      0.1%F.S./-
      空載諧振頻率
      80Hz
      承載能力
      水平安裝
      1.5kg
      立式安裝
      0.02kg
      倒置安裝
      0.05kg
      靜電容量
      72μF
      材質(zhì)
      鈦、鋁
      重量
      ＜1.3kg


      配套控制器
      E53.D系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動P60.Z1000系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應(yīng)用要求而設(shè)計的單通道控制器，體積小巧，外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量為350g，供電電壓24VDC/1A。機(jī)身帶有散熱區(qū)域，可迅速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，上位機(jī)軟件支持二次開發(fā)，體積小巧，易于集成。

      圖片


      
    
    
  
      

      




      
  
      
    
      
      
      
      
      
        
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