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       歡迎來哈爾濱芯明天科技有限公司！我們將為您提供到位的服務(wù)！
      
        
      
        	
      
                    
                    
          
      
        
      
    
      

      



      
  
      
    
      
      
        
        
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      首頁 > 技術(shù)文章 > 新品推薦|XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環(huán)控制器
      
    
      
      
      新品推薦|XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環(huán)控制器
      
    
      
	
      更新時(shí)間： 2024-02-23 
      
    
      新年伊始，萬象更新。芯明天持續(xù)深挖行業(yè)需求，攻克技術(shù)壁壘，推陳出新，為客戶解決一個(gè)又一個(gè)精密定位技術(shù)的難題。
       
      本次為大家介紹一款一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺-XD605.X90。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
      圖片

      X向運(yùn)動(dòng)、大負(fù)載

      XD605.X90可實(shí)現(xiàn)一維X向直線運(yùn)動(dòng)，行程可達(dá)到95μm，負(fù)載可達(dá)10kg，分辨率可達(dá)3nm，為大負(fù)載應(yīng)用提供更優(yōu)質(zhì)的解決方案。


      電容式傳感器

      XD605.X90閉環(huán)版本采用電容傳感，閉環(huán)線性度可達(dá)0.021%F.S.，閉環(huán)重復(fù)定位精度可達(dá)0.005%F.S.，由于電容式傳感器是根據(jù)兩個(gè)電極之間的電容變化來測量物理量，所以它不受溫度、磁場環(huán)境等因素影響，在精度、響應(yīng)速度、穩(wěn)定性、可靠性和成本方面具有很多優(yōu)勢。


      三種位姿、易使用

      XD605.X90它在使用放置方式上進(jìn)行突破，可正立、側(cè)臥、倒置三種位置使用，可滿足更多設(shè)備或系統(tǒng)對負(fù)載位姿的要求。
      圖片


      產(chǎn)品應(yīng)用

      顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。


      技術(shù)參數(shù)

       
                  
                              
      型號
                        		                        
      XD605.X90C/K
                        		        
              
                              
      運(yùn)動(dòng)自由度
                        		                        
      X
                        		        
              
                              
      驅(qū)動(dòng)控制
                        		                        
      1路驅(qū)動(dòng)，1路電容傳感
                        		        
              
                              
      標(biāo)稱行程范圍（0~120V）
                        		                        
      76μm
                        		        
              
                              
      行程范圍（0~150V）
                        		                        
      95μm
                        		        
              
                              
      傳感器
                        		                        
      CAP/-
                        		        
              
                              
      分辨率
                        		                        
      3nm
                        		        
              
                              
      閉環(huán)線性度
                        		                        
      0.02%F.S./-
                        		        
              
                              
      閉環(huán)重復(fù)定位精度
                        		                        
      0.005%F.S./-
                        		        
              
                              
      俯仰
                        		                        
      <5μrad
                        		        
              
                              
      偏航
                        		                        
      <5μrad
                        		        
              
                              
      滾動(dòng)
                        		                        
      <5μrad
                        		        
              
                              
      空載諧振頻率
                        		                        
      615Hz
                        		        
              
                              
      帶載諧振頻率@5kg
                        		                        
      310Hz
                        		        
              
                              
      閉環(huán)階躍時(shí)間@5kg
                        		                        
      8ms@20μm
                        		        
              
                              
      承載能力
                        		                        
      正立10kg
                        		        
              
                              
      臥式5kg
                        		        
              
                              
      倒置10kg
                        		        
              
                              
      靜電容量
                        		                        
      37μF
                        		        
              
                              
      材質(zhì)
                        		                        
      鋁合金
                        		        
              
                              
      重量（含線）
                        		                        
      5.7kg
                        		        
          
       






      配套控制器

      E53.D1C-H系列壓電控制器是一款模擬與數(shù)字式控制器，具有閉環(huán)伺服控制功能，是專為驅(qū)動(dòng)配備電容式傳感器的壓電產(chǎn)品而研發(fā)設(shè)計(jì)。外形尺寸為148×125×27.5mm，供電為24VDC/1.5A。機(jī)身帶有散熱區(qū)域，可快速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，且體積小巧，易于集成。
      圖片
      XD605.X90C電容式壓電平臺與E53.D1C-H電容閉環(huán)壓電控制器

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