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什么是宏微復合式壓電移相器？

壓電式移相器介紹

壓電式移相器（也稱壓電陶瓷移相器），是基于壓電陶瓷設(shè)計并通過驅(qū)動壓電陶瓷產(chǎn)生微運動來實現(xiàn)移相功能的，在電壓信號的控制下產(chǎn)生納米級步進運動，完成干涉中要求的微小移相運動。

移相干涉技術(shù)(phase shifting interferometry)是一種利用干涉圖對光學元件進行測量的技術(shù)，其中核心部件為移相器，一般常用微位移運動器件驅(qū)動實現(xiàn)。壓電式移相器，以其優(yōu)良的測試精度而被廣泛用于各種現(xiàn)代干涉儀器中，并被廣泛地應用于各個領(lǐng)域。

壓電式移相器是由壓電控制器所驅(qū)動，它所能移動的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號有關(guān)，并與其大小成線性關(guān)系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級高分辨率、響應速度快、高剛度、控制簡單且不受磁場影響等優(yōu)點。

移相器原理作用

壓電式移相器的步進可達納米量級，用于驅(qū)動鏡片做平行運動,改變參考光的光程,從而在物光和參考光之間引入相移量。

芯明天壓電移相器介紹

芯明天ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器的內(nèi)部是由壓電陶瓷驅(qū)動，它由直流電壓信號來控制，在150V電壓下產(chǎn)生的位移約0.7µm，可用于快速步進移相應用。壓電陶瓷移相器的驅(qū)動電壓上限為800V，在此電壓下，產(chǎn)生的位移約3.73µm。

該壓電移相器是專為移相應用而設(shè)計，可通過電壓控制進行超快速（µs級）步進調(diào)節(jié)，同時，可通過手動調(diào)節(jié)θx、θy兩軸的偏轉(zhuǎn)角度，角度調(diào)節(jié)范圍可達±4°。將鏡片調(diào)節(jié)與移相步進結(jié)合，使其更方便于像移、干涉測量等應用。

產(chǎn)品特點

•手動與壓電調(diào)節(jié)相結(jié)合

•150V電壓驅(qū)動下，移相行程約0.7µm

•驅(qū)動電壓上限為800V

•移相行程上限可達3.73µm

•可手動調(diào)節(jié)θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)角度

•手動調(diào)節(jié)角度范圍為0~±4°/軸

•標準可帶載鏡片直徑35mm，可定制

壓電式移相器設(shè)計

芯明天ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器由兩部分組成，壓電陶瓷驅(qū)動與手調(diào)微動螺釘。為保證對位移的高分辨率要求，壓電陶瓷移相器采用壓電陶瓷直驅(qū)技術(shù)結(jié)構(gòu)，確保陶瓷的高分辨率可以直接輸出，而不受外部機械結(jié)構(gòu)的影響。手調(diào)微動螺釘則采用高精密螺絲和襯套，保證了手動調(diào)節(jié)的精度。

鏡片結(jié)構(gòu)可調(diào)

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器鏡片固定結(jié)構(gòu)采用可更換設(shè)計，可以針對不同應用需求更換鏡片固定結(jié)構(gòu)尺寸，以適合不同鏡片大小的使用。

手動微調(diào)結(jié)構(gòu)

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)，采用手動微調(diào)螺釘操作，使用方便快捷，調(diào)整角度可達0~±4°/軸。

應用領(lǐng)域

芯明天壓電陶瓷移相器可應用于快速納米級步進、移相、光路調(diào)節(jié)、干涉測量、快速步進調(diào)節(jié)等領(lǐng)域。

參數(shù)性能

型號：ZT35H80K

運動自由度：壓電驅(qū)動X

手調(diào)θx、θy

壓電直線行程：0.7μm@150V

3.73μm@800V

手調(diào)θxθy偏轉(zhuǎn)角度：±4°/軸

空載諧振頻率：47.8kHz

靜電容量：18nF

標準可安裝鏡片直徑：Φ35mm

驅(qū)動電壓范圍：0~800V

重量：175g

壓電陶瓷的電壓與位移曲線

移相功能主要通過內(nèi)部壓電陶瓷實現(xiàn)，壓電陶瓷電壓位移曲線如下圖：

定制服務

芯明天可提供各種用于移相、步進、干涉、計量等的壓電式移相器，例如超小體積型、帶有通光孔型、大負載型、大口徑式等等，可*根據(jù)客戶實際應用定制設(shè)計。