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      首頁 > 技術(shù)文章 > 新品介紹|XD107系列壓電掃描臺 - 三維納米運(yùn)動
      
    
      
      
      新品介紹|XD107系列壓電掃描臺 - 三維納米運(yùn)動
      
    
      
	
      更新時(shí)間： 2022-07-20 
      
    
      XD107系列壓電掃描臺是一款定制設(shè)計(jì)的三維運(yùn)動的壓電平臺，具有特殊的負(fù)載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用。
      圖片
      XD107系列壓電掃描臺內(nèi)部采用機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷、無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性都可達(dá)nm級，定位響應(yīng)時(shí)間也可達(dá)ms級。
      該壓電掃描臺可根據(jù)應(yīng)用需求選配閉環(huán)傳感器，以獲取更高的精度。
      產(chǎn)品特點(diǎn)
      •XYZ三維運(yùn)動
      •行程可達(dá)100μm
      •承載能力0.4kg
      •中心通孔50×50mm
      產(chǎn)品應(yīng)用
      •掃描顯微鏡
      •掩模/晶圓定位
      •干涉、度量衡學(xué)
      •生物技術(shù)
      •微操作
      引線連接器
      XD107系列壓電掃描臺的連接器共有2組，每組有3個(gè)，一組用于電壓驅(qū)動信號的傳輸，一組用于傳感反饋信號的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應(yīng)的連接器類型。
      圖片
      外觀效果
      電壓位移曲線：下圖中為XD107系列壓電掃描臺的XY向的驅(qū)動電壓與位移曲線。
      圖片
      線性度曲線
      圖片
      技術(shù)參數(shù)
      型號：XD107.XY100Z20S
      運(yùn)動方向：X、Y、Z
      標(biāo)稱行程范圍(0~120V)：XY80/Z64μm
      行程范圍(0~150V)：XY100/Z80μm
      傳感器類型：SGS
      閉環(huán)分辨率：3nm
      閉環(huán)線性度：0.1%F.S.
      閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.02%F.S.
      俯仰/偏航/滾動：≤30μrad
      空載諧振頻率：XY220/Z160Hz
      帶載400g諧振頻率：XY110/Z80Hz
      承載能力：0.4kg
      靜電容量：XY3.6/Z1.8μF
      材質(zhì)：鋼、鋁
      通孔尺寸：50×50mm
      外形尺寸：94×94×24.5mm
      重量：420g
      應(yīng)用舉例
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