X軸大行程壓電納米定位臺(tái)
P60.X250是高精度的一維X向壓電納米定位臺(tái)，平臺(tái)采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電疊堆陶瓷，具有非常高的線性度，運(yùn)動(dòng)行程可達(dá)330μm，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。
P60.X250可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)非常高的線性度與重復(fù)度。同時(shí)，其抗震動(dòng)的設(shè)計(jì)，非常適用于相關(guān)實(shí)驗(yàn)及應(yīng)用環(huán)境。
特點(diǎn)
• X向運(yùn)動(dòng)
• 行程可達(dá)330μm
• 抗振動(dòng)設(shè)計(jì)
• 兩通道控制（含1路恒壓）
• 差分驅(qū)動(dòng)
• 快速響應(yīng)
應(yīng)用
• 計(jì)量/干涉
• 納米定位
• 質(zhì)量保證測(cè)試
• 精密控制
電壓位移曲線
階躍時(shí)間曲線
P60.X250S帶載200g，小幅值階躍時(shí)間可達(dá)20ms。
技術(shù)參數(shù)
運(yùn)動(dòng)自由度：X
行程范圍（0~120V）：±130μm
行程范圍（0~150V）：±165μm
傳感器：SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨率：12/5nm
閉環(huán)線性度：0.1%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.04%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng)：＜10μrad
推/拉力：300/30N
運(yùn)動(dòng)方向剛度：1.2 N/μm
空載諧振頻率：490Hz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：80/40ms
承載能力：0.6kg
靜電容量：24.6μF
工作溫度：-40~+80℃
抗振設(shè)計(jì)：半正弦15g，11ms
后峰鋸齒波20g，11ms
材質(zhì)：鋼、鋁
重量：950g
推薦控制器
P60.X250為一維X向差分驅(qū)動(dòng)定位臺(tái)，需配套兩通道（含一路恒壓）控制器，可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器，同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩臺(tái)P60.X250，實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)控制。
17051647888
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