壓電納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動范圍可達500μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領域中發(fā)揮著主要作用。
近年來，由于光通信技術飛速發(fā)展，光纖連接器作為光通信的基本的光源器件，所以對其質量及可靠性有了更嚴格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸?shù)男?，因此光纖端面的檢測至關重要。
為得到光纖端面的三維參數(shù)，通常根據(jù)光學干涉來進行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統(tǒng)中米羅的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動，分5步位相移動，每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。
壓電納米定位臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦等特點。
此外，壓電納米定位臺還可用于：
光路調整；
納米操控技術；
納米光刻，生物科技；
激光干涉；
CCD圖像處理；
納米測量、顯微操作；
納米壓印、納米定位；
顯微成像，共焦顯微。
