P60系列Z向大行程直線微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
P60.Z500是以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，并采用放大機(jī)構(gòu)的一維Z向運(yùn)動(dòng)的大行程直線微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。
P60.Z500系列壓電掃描臺(tái)，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，可實(shí)現(xiàn)500μm的運(yùn)動(dòng)行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載2kg的負(fù)載，空載諧振頻率達(dá)290Hz。
帶載階躍時(shí)間
P60.Z500S 帶載350g時(shí)，階躍時(shí)間200ms。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：P60.Z500
運(yùn)動(dòng)自由度：Z
行程范圍（0~120V）：400μm
行程范圍（0~150V）：500μm
閉環(huán)傳感器：SGS
閉/開環(huán)分辨率：20/5nm
閉環(huán)線性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.05%F.S.
空載諧振頻率：290Hz
承載能力：2kg
靜電容量：28.8μF
材質(zhì)：鋼、鋁
重量（不含線）：0.65kg
17051647888
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