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      小體積大負(fù)載壓電物鏡定位器

      更新時(shí)間: 2021-03-29

      P76.Z50S/KA小體積大負(fù)載Z軸壓電物鏡定位器,高度尺寸僅為37.5mm,負(fù)載能力可達(dá)500g,Z軸可實(shí)現(xiàn)50μm直線運(yùn)動(dòng)范圍,采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu),無(wú)摩擦,直線性好,閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì),可適配多種型號(hào)的顯微鏡,是顯微成像、晶圓切割等應(yīng)用的理想選擇。

      特性

      • 行程可達(dá)50μm

       承載能力500g

       毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

       閉環(huán)重復(fù)定位精度高

       聚焦穩(wěn)定性好

       

      大負(fù)載 高頻響 高分辨率

      P76.Z50S/KA是為了實(shí)現(xiàn)大負(fù)載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到超快的階躍時(shí)間而專門設(shè)計(jì)。堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其即使帶載幾百克的物鏡也可以實(shí)現(xiàn)非常快的穩(wěn)定時(shí)間及掃描頻率。多個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì),使它具有較高的剛度,同時(shí)保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動(dòng)態(tài)性。負(fù)載能力達(dá)500g,兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場(chǎng)物鏡,也可匹配蔡司、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。

      閉環(huán)階躍時(shí)間

      P76.Z50S/KA壓電物鏡定位器帶載500g,滿行程階躍時(shí)間約20ms。

      技術(shù)參數(shù)

      型號(hào)P76.Z50S/KA

      運(yùn)動(dòng)自由度Z

      行程范圍(0~120V)40μm

      行程范圍(0~150V)50μm

      閉環(huán)傳感器類型SGS

      /開環(huán)分辨率5/2.5nm

      閉環(huán)線性度0.05%F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度0.02%F.S.

      /拉力35/10N

      運(yùn)動(dòng)方向剛度0.8N/μm

      空載諧振頻率800Hz

      /開環(huán)空載階躍時(shí)間5/2ms

      承載能力0.5kg

      靜電容量3.2μF

      材質(zhì)鋼、鋁

      重量510g

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