芯明天N62系列穩(wěn)像壓電掃描臺
N62系列壓電掃描臺為XY 軸平移掃描臺，機構放大設計原理，中心通孔孔徑為26mm，可以實現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，產品體積小巧、結構緊湊易于集成與安裝。
特點
• 位移可達±10μm
• 承載能力1kg
• 可定制
• 真空版本可選
典型應用
• 顯微成像
• 表面檢測
• 圖像穩(wěn)定
• 干涉/ 計量
頻率負載曲線
高動態(tài) 高分辨率
N62系列壓電掃描臺為小體積高精度平移掃描臺，是特別為高分辨率、高動態(tài)、高定位精度應用而設計的XY軸掃描臺，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，分辨率可以達到0.5nm，滿行程重復定位精度達納米級。
產品采用不銹鋼材質，特殊的結構設計使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達2000Hz，滿足工業(yè)上對高頻率、高精度等應用的需求。
動態(tài)性能好
下圖為N62.XY20K帶載10g負載在500Hz頻率下位移曲線。
技術參數(shù)
型號：N62.XY20
運動自由度：XY
行程范圍（0~120V）：±8μm/軸
行程范圍（0~150V）：±10μm/軸
閉環(huán)傳感器類型：SGS
通孔尺寸：Ø26mm
閉/開環(huán)分辨率：1/0.5nm
閉環(huán)線性度：0.3%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.
俯仰/偏航/滾動：<10μrad
推/拉力：44/44N
運動方向剛度：X2.2/Y2.2N/μm
空載諧振頻率：X2000/Y2000Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間：1.5/0.7ms
承載能力：1kg
靜電容量：1.6μF/軸
材質：鋼、鋁
重量：180g
