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      P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡用于高頻激光加工

      更新時間: 2020-12-21

      在涉及到微米級小孔的超快激光加工應(yīng)用中集成壓電偏轉(zhuǎn)鏡,具有加工精度高、加工速度快等特點(diǎn)。已廣泛應(yīng)用于航天器件微小孔加工、異形孔加工等領(lǐng)域。

       

      P33.T8S系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是具有快速響應(yīng)且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)平臺,提供頂端面的高精度角度運(yùn)動,與其他執(zhí)行器相比,柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺可提供更高的加速度,使階躍響應(yīng)時間在亞毫秒范圍。P33.T8S在10mrad滿行程工作頻率達(dá)50Hz,連續(xù)工作15天。

      特點(diǎn)

      • 二維θx、θy 偏轉(zhuǎn)

       偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)12.5mrad

       亞毫秒響應(yīng)時間

       閉環(huán)定位精度高

      • 溫度穩(wěn)定性高

       

      高動態(tài) 閉環(huán)精度高

      在機(jī)械結(jié)構(gòu)的合適位置采用應(yīng)變傳感器來得到高穩(wěn)定性及定位精度,他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號,傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性。

       

      技術(shù)參數(shù)

      型號P33.T8S

      運(yùn)動自由度θx、θy

      行程范圍(0~120V)10mrad(≈2060)/±5mrad(≈±1030)

      行程范圍(0~150V)12.5mrad(≈2500)/±6.25mrad(≈±1250)

      閉環(huán)傳感器SGS

      閉環(huán)分辨率0.5μrad(≈0.1)

      閉環(huán)線性度0.25%F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度0.02%F.S.

      空載諧振頻率3.1kHz

      閉環(huán)空載階躍時間8ms

      靜電容量14.5μF/軸

      材質(zhì)

      重量340g

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