顯微光學(xué)成像中的大行程機構(gòu)放大式壓電促動器
顯微光學(xué)成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后，能夠得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)，其中大行程、高精度機構(gòu)放大式壓電促動器可帶動樣品做Z向超精密運動，可使觀測精度達到納米級。
機構(gòu)放大式壓電促動器是一種通過機械放大結(jié)構(gòu)將預(yù)載的低壓壓電陶瓷疊堆產(chǎn)生的位移進行放大并垂直輸出的促動器。
機械放大結(jié)構(gòu)為橢圓形機械殼體，它的材料一般為鋼，它對壓電疊堆陶瓷除了提供優(yōu)化預(yù)緊力外，也對疊堆陶瓷起到保護作用，使其免于承受拉力，拉力對壓電疊堆陶瓷會產(chǎn)生不可逆甚至致命的損壞。橢圓機械放大結(jié)構(gòu)也為用戶提供了易于集成的機械接口。
技術(shù)參數(shù)
型號：P06.X500R
位移行程：560μm
運動方向出力：100N
剛度：0.25N/μm
靜電容量：10.8μF
空載諧振頻率：170Hz
開環(huán)曲線
典型應(yīng)用
• 探針掃描
• 光開關(guān)、快門/快門防抖
• 激光腔調(diào)諧
• 光纖拉伸
• 器件疲勞度監(jiān)測
• 測流技術(shù)
• 液滴發(fā)生器
推薦控制器
可配套芯明天單通道小體積E53系列壓電控制器，實現(xiàn)Z向高精度定位控制。
17051647888
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