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      差分驅(qū)動壓電納米定位臺P16系列升級版

      更新時間: 2020-09-15

      P16系列壓電平臺是以小體積、大位移而聞名,它的外形尺寸僅60×60×20mm,位移行程可選50μm或100μm,非常小的體積及較低的高度提供了較大的位移。

      P16系列XY二維運動壓電平臺,它的中心具有φ20mm的中心通孔,非常適用于光學(xué)應(yīng)用。

      近期,芯明天公司對P16系列進行了升級,對結(jié)構(gòu)和外觀進行了改善,使之更加一體化,同時,可靠性也大幅提高。

      安裝接口

      需帶載的負載可通過移動面上間距25mm的4個M3螺紋孔或間距16mm的4個M2螺紋孔進行固定,機械接口,安裝便捷。

      驅(qū)動原理

      P16系列壓電平臺是一款特別的運動平臺,它采用差分式驅(qū)動控制,雖然是二維運動,但它需要一臺具有恒壓的三通道壓電控制器驅(qū)動,這是因為它內(nèi)部每軸的運動都采用兩組壓電陶瓷差分式驅(qū)動,如下圖所示。

      使用說明/位移曲線

      由于差分驅(qū)動,P16壓電平臺的開/閉環(huán)位移曲線與非差分驅(qū)動式壓電平臺的會略顯不同。以150V驅(qū)動電壓為例,X軸方向的閉環(huán)位移與控制電壓的關(guān)系如下圖所示,Y軸方向的位移&電壓曲線與X軸相同。

      閉環(huán)位移曲線

      ,在控制電壓為75V時,移動平面的位置會回到施加電壓前的初始位置。

      技術(shù)參數(shù)

      型號:P16.XY100S/K

      運動自由度:X Y

      標(biāo)稱行程范圍:80或±40μm/@120V

      行程范圍:100或±50μm/@150V

      傳感器類型:SGS

      通孔尺寸:φ20mm

      /開環(huán)分辨率:10/5nm

      閉環(huán)線性度:0.4%F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.

      俯仰/偏航/滾動:<25μrad

      /拉力:30N

      運動方向剛度:0.5N/μm

      空載諧振頻率:400Hz

      /開環(huán)空載階躍時間:10/1.6ms

      閉環(huán)空載工作頻率:100Hz@10%行程

      閉環(huán)空載工作頻率:10Hz@行程

      承載能力:1.5kg

      靜電容量:3.6μF/

      材質(zhì):鋼、鋁

      重量:220g

      注:P16.XY50S/K的位移范圍50μm或±25μm。

      典型應(yīng)用

      • 顯微成像 • 表面檢測 • 干涉 / 計量 • 精密定位 • 光學(xué) • 微操作

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