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      P18系列壓電掃描臺有哪些參數(shù)

      更新時間: 2020-08-24

      為1-3維直線掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為Ø35mm,多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。

      特性:

      • 大位移370μm

      • 大承載3.5kg

      • 通孔直徑:Ø35mm

      1~3維掃描臺

          P18壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式,可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。

      典型應(yīng)用

      • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

      • 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微

      • 干涉/計(jì)量 • 表面檢測

      • 半導(dǎo)體測量 • 光學(xué)計(jì)量

      大位移、大承載、高剛度、高頻響

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