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      壓電穩(wěn)像掃描運(yùn)動(dòng)與控制系統(tǒng)

      更新時(shí)間: 2020-02-26

      N62系列壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái),機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,中心通孔孔徑為26mm,可以實(shí)現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝。

      高動(dòng)態(tài)、高分辨率、高定位精度

      N62系列壓電掃描臺(tái)為小體積高精度平移掃描臺(tái),是特別為高分辨率、高動(dòng)態(tài)、高定位精度應(yīng)用而設(shè)計(jì)的XY軸掃描臺(tái),內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程,分辨率可以達(dá)到0.5nm,滿行程重復(fù)定位精度達(dá)納米級(jí)。

      產(chǎn)品采用不銹鋼材質(zhì),特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具有非常大的剛度,空載諧振頻率達(dá)2000Hz,滿足工業(yè)上對(duì)高頻率高精度等應(yīng)用的需求。

      動(dòng)態(tài)性能好

      N62.XY20K帶載10g負(fù)載在500Hz頻率下位移曲線。

      技術(shù)參數(shù)

      型號(hào):N62

      運(yùn)動(dòng)自由度:X、Y

      行程范圍@120V: ±8μm/軸

      行程范圍@150V:±10μm/軸

      閉環(huán)傳感器:SGS

      通孔尺寸:Ø26 mm

      閉/ 開環(huán)分辨率:1/0.5 nm

      閉環(huán)線性度:0.3%F.S

      閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S

      運(yùn)動(dòng)方向剛度:X2.2/Y2.2 N/μm

      空載諧振頻率:X2000/Y2000 Hz

      閉/ 開環(huán)空載階躍時(shí)間:1.5/0.7 ms

      大承載:1kg

      靜電容量:1.6μF/軸

      材質(zhì):鋼、鋁

      重量:180g

       

      配套壓電控制器

      E70.D3S是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力,通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性,可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。

      采用DC24V 供電、集成數(shù)字與模擬控制功能、RS-232/RS-422/USB 通訊可選、集成式PZT&sensor 迷你接口便于連接,外部可設(shè)定控制功能,操作簡單便捷。

      技術(shù)參數(shù)

      型號(hào):E70.D3S-I2

      功能:數(shù)字與模擬集成式控制器

      通道數(shù):3

      模擬輸入范圍:0-10V

      輸出電壓范圍:0-120V/150V第三路恒壓

      峰值電流:1.1A/通道

      平均電流:70mA/通道

      放大器帶寬:10kHz/通道

      輸出電壓紋波:5mV(2.2μF)

      PZT連接器:ECG.1B.314(LEMO)

      控制輸入連接器:SMB

      傳感器類型:SGS

      伺服特性:P.I+ 低通+ 陷波

      傳感輸出紋波:10mV

      通信接口:RS-232/422、USB

      工作溫度范圍:0-50℃

      尺 寸:168.5×134×45.5mm

      重 量:1.2kg

      供電電壓:24V DC1.5A(36W)

      控制方式:模擬/ 數(shù)字信號(hào)控制 

      全國統(tǒng)一客服電話:

      17051647888

      地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學(xué)府路191號(hào)創(chuàng)業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層
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