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      芯明天P17系列壓電掃描臺

      更新時(shí)間: 2020-01-06

      P17 系列

      P17 系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

       

      特點(diǎn)

      • 位移187.5μm

      • 承載能力1kg

      • 通孔尺寸:60×60mm

      • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

      • 響應(yīng)速度快

      應(yīng)用

       

      • 圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微

      • 干涉/ 計(jì)量

      • 表面檢測

      • 晶圓定位/微操作

      階躍時(shí)間

       

       

       

      大行程 穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

       

      P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度掃描臺,可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

      應(yīng)用實(shí)例

       

      P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應(yīng)用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

      技術(shù)參數(shù)

       

      型號

      S-閉環(huán)

      K-開環(huán)

      P17.XY200S

      P17.XY200K

      單位

      運(yùn)動自由度

      X、Y

       

      行程范圍(0~120V)

      150/軸

      μm

      行程范圍(0~150V)

      187.5/軸

      μm

      傳感器類型

      SGS/-

       

      通孔尺寸

      60×60

      mm

      閉/開環(huán)分辨率

      8/5

      nm

      閉環(huán)線性度

      0.1/-

      %F.S

      閉環(huán)重復(fù)定位精度

      0.05/-

      %F.S

      俯仰/偏航/滾動

      <15

      μrad

      推/拉力

      40/15

      N

      運(yùn)動方向剛度

      X0.2/Y0.2

      N/μm

      空載諧振頻率

      X240/Y400

      Hz

      閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

      30/5

      ms

      閉環(huán)空載

      工作頻率

      10%行程

      50

      Hz

      行程

      10

      承載能力

      1

      kg

      靜電容量

      3.6/軸

      μF

      材質(zhì)

      鋼、鋁

       

      重量

      660

      g

      是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

      特點(diǎn)

      • 位移187.5μm

      • 承載能力1kg

      • 通孔尺寸:60×60mm

      • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

      • 響應(yīng)速度快

      應(yīng)用

      • 圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微

      • 干涉/ 計(jì)量

      • 表面檢測

      • 晶圓定位/微操作

      階躍時(shí)間

      大行程 穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

      P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度掃描臺,可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

      應(yīng)用實(shí)例

      P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應(yīng)用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

      技術(shù)參數(shù)

       

      型號

      S-閉環(huán)

      K-開環(huán)

      P17.XY200S

      P17.XY200K

      單位

      運(yùn)動自由度

      X、Y

       

      行程范圍(0~120V)

      150/軸

      μm

      行程范圍(0~150V)

      187.5/軸

      μm

      傳感器類型

      SGS/-

       

      通孔尺寸

      60×60

      mm

      閉/開環(huán)分辨率

      8/5

      nm

      閉環(huán)線性度

      0.1/-

      %F.S

      閉環(huán)重復(fù)定位精度

      0.05/-

      %F.S

      俯仰/偏航/滾動

      <15

      μrad

      推/拉力

      40/15

      N

      運(yùn)動方向剛度

      X0.2/Y0.2

      N/μm

      空載諧振頻率

      X240/Y400

      Hz

      閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

      30/5

      ms

      閉環(huán)空載

      工作頻率

      10%行程

      50

      Hz

      行程

      10

      承載能力

      1

      kg

      靜電容量

      3.6/軸

      μF

      材質(zhì)

      鋼、鋁

       

      重量

      660

      g

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