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      壓電偏轉(zhuǎn)運動與控制系統(tǒng)

      更新時間: 2019-12-30

      P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸θx、θy的高速精密偏轉(zhuǎn)運動及Z 軸直線運動,直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度,響應時間可達毫秒量級。

      特點

      • θx, θy 偏轉(zhuǎn),Z 軸升降

      • 偏轉(zhuǎn)范圍達6mrad

      • 毫秒級響應時間

      • 閉環(huán)定位精度高

      典型應用

      • 圖像處理與穩(wěn)定

      • 光學捕獲

      • 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn)

      • 激光調(diào)諧

      • 光過濾/光開關(guān)

      • 光學/光束穩(wěn)定

      工作原理

      P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個壓電陶瓷機構(gòu)設計而成的,由三支壓電陶瓷驅(qū)動,以120°角平分放置,采用坐標變換,運動可以分不同機構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設計除了可實現(xiàn)平臺的傾斜,也可實現(xiàn)平臺Z向的直線移動,可以用于校正光學路徑長度。如下圖所示,A、B、C表示測量的3點處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡便計算公式分別如下。

      技術(shù)參數(shù)

      型號:P32

      運動自由度:θx, θy, Z

      θx, θy偏轉(zhuǎn)角度:5mrad@120V

      θx, θy偏轉(zhuǎn)角度:6mrad@150V

      Z向行程:30μm@120V

      Z向行程:37.5μm@150V

      傳感器類型:SGS

      閉/開環(huán)偏轉(zhuǎn)分辨率:0.1/0.05μrad

      閉/開環(huán)直線分辨率:1/0.5 nm

      閉環(huán)線性度:0.05%F.S.

      閉環(huán)重復定位精度:0.02%F.S.

      空載諧振頻率:2kHz

      閉/開環(huán)空載階躍時間:5/2ms

      靜電容量:3.6μF/軸

      材質(zhì):

      重量:350g

      推薦控制器-E70壓電控制器

      E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力,通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精度與穩(wěn)定性,可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度。

      E70.D3S壓電控制器采用DC24V供電、集成數(shù)字與模擬控制功能、開/閉環(huán)可選、RS-232/RS-422/USB通訊可選、集成式PZT&sensor迷你接口便于連接,外部可設定控制功能,操作簡單便捷。

      技術(shù)參數(shù)

      型號:E70.D3S-I2

      功能:數(shù)字與模擬集成式控制器

      通道數(shù):3

      模擬輸入范圍:0-10V

      輸出電壓范圍:0-120V(可選 0-150V)

      第三通道恒壓輸出

      峰值電流:1.1A/通道

      平均電流:70mA/通道

      放大器帶寬:10kHz/通道

      輸出電壓紋波:5mV(2.2μF)

      PZT連接器:ECG.1B.314(LEMO)

      控制輸入連接器:SMB

      傳感器類型:SGS

      Sensor輸出連接器:EPG.0B.304(LEMO)

      傳感輸出紋波:10mV

      通信接口:RS-232/422、USB

      上位機軟件可二次開發(fā)

      工作溫度范圍:0-50℃

      尺 寸:168.5×134×45.5mm

      重 量:1.2kg

      供電電壓:24V DC1.5A(36W)

      具有過流保護

      全國統(tǒng)一客服電話:

      17051647888

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