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      壓電驅(qū)動宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)在精密定位中的應(yīng)用

      更新時間: 2019-10-08

      精密定位技術(shù)對定位系統(tǒng)的精度和行程提出了越來越高的要求,壓電機(jī)構(gòu)驅(qū)動宏微復(fù)合對這一要求提供了關(guān)鍵的技術(shù)支持,解決了其要求行程大、定位精度高等技術(shù)難題,同時還具備了體積小、響應(yīng)速度快、出力大等技術(shù)優(yōu)勢。

      芯明天壓電宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是手動調(diào)節(jié)與電壓調(diào)節(jié)相結(jié)合的超精密定位臺。控制結(jié)構(gòu)分為兩部分,一部分為手動調(diào)節(jié)臺,通過千分尺進(jìn)行調(diào)節(jié);另一部分為壓電納米定位臺,內(nèi)部由壓電陶瓷驅(qū)動,通過施加電壓來控制。在粗調(diào)機(jī)構(gòu)中,可調(diào)整的直線運(yùn)動行程為13mm,分辨率為10μm。在精調(diào)機(jī)構(gòu)中,可調(diào)整的直線運(yùn)動行程可達(dá)100μm,分辨率為2.5nm。可通過兩種調(diào)節(jié)結(jié)合來達(dá)到納米級定位精度。

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      以P84系列壓電宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)為例

       

      特點(diǎn)

      · X向運(yùn)動,1至3維自由組合;

      · 易于調(diào)節(jié),分辨率可達(dá)2.5nm

      · 粗調(diào)行程13mm/軸

      · 精調(diào)行程100μm/軸

      · 壓電調(diào)節(jié)可選配閉環(huán)傳感器

      · 結(jié)構(gòu)緊湊,體積小巧

       

      技術(shù)參數(shù):

      型號

      尾輟S-閉環(huán)

      P84.X100S

      P84.X100K

      單位

      尾輟K-開環(huán)

      運(yùn)動自由度

      X

       

      行程范圍(粗調(diào)+精調(diào))

      13mm+100µm

      mm+µm

      殼體材料

      鋼、鋁

       

      手動調(diào)節(jié)部分-千分尺

      粗調(diào)行程范圍

      13

      mm

      粗調(diào)分辨率

      10

      µm

      驅(qū)動方式

      螺紋副(分厘卡)

       

      靈敏度

      <2

      µm

      讀數(shù)精度

      10

      微米/格

      螺距

      0.5

      mm/rev.

      壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動

      精調(diào)行程范圍

      0~120 V

      80

      µm±20%

      0~150 V

      100

      µm±20%

      傳感器類型

      SGS/-

       

      步進(jìn)(分辨率)

      7/2.5

      nm, typ.

      閉環(huán)線性度

      0.1/-

      %F.S.

      重復(fù)定位精度

      0.05/-

      %F.S.

      運(yùn)動方向推力

      16

      N

      運(yùn)動方向的剛度

      1

      N/µm±20%

      承載能力(Z向)

      500

      g

      工作溫度范圍

      -20~80

      °C

      靜電容量

      1.8

      µF±20%

      P84宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)可與宏動平臺配合使用,1~3維自由組合,組成大行程高精度運(yùn)動平臺。

       

       

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