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      P77.D6小體積壓電移相器

      更新時間: 2019-04-15

      P77.D6壓電式移相器是專為光學檢測移相應用而設計的,中心通孔直徑為65mm,正立、側(cè)臥、倒置使用的承載能力分別可達5kg、2kg、3kg。采用壓電陶瓷直驅(qū)式結(jié)構(gòu),保證了出力性能,同時內(nèi)部優(yōu)化的機械結(jié)構(gòu)設計,對壓電陶瓷也起到了的保護作用,確保了使用壽命。

       

      產(chǎn)品特點

      • 一維Z向運動

      • 行程可達17μm

      • 承載可達5kg

      • 通孔直徑:65mm

      • 可正立/倒置/側(cè)臥使用

       

      典型應用

      • 顯微成像

      • 表面檢測

      • 干涉/測量

      • 精密定位

      • 移相器

      • 光學捕獲

       

      高精度、大承載

      P77.D6系列壓電移相器采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導向機構(gòu)設計,利用有限元分析優(yōu)化,使其具有超高分辨率。同時閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器,對位移實時監(jiān)測反饋,實現(xiàn)納米級的重復定位精度及線性度。

      中心通孔直徑65mm,非常適于大口徑移相干涉應用。

      電壓與位移曲線

       

      技術參數(shù)

       

      應用案例

      芯明天P77系列壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特點廣泛應用于現(xiàn)代干涉儀中,大大提高了干涉儀的測量精度。

       

       

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