大口徑移相壓電納米定位臺|壓電移相器|壓電相移器
根據(jù)激光干涉儀的體積及應(yīng)用的不同，可選擇合適的壓電式移相元件，例如對于承載小型的鏡片的移相，可選用體積緊湊的壓電陶瓷片或壓電疊堆陶瓷，單個壓電陶瓷的行程范圍即可達(dá)20微米。
芯明天公司針對大口徑型激光干涉儀，專門設(shè)計了大口徑型壓電相移器，并且可用于正立、倒置及臥式不同安裝方式，移相范圍為20微米，移相分辨率可達(dá)0.5納米，移相時間可小于2毫秒。
芯明天針對不同應(yīng)用，設(shè)計了多種壓電移相平臺，通孔孔徑小至36毫米，大至210毫米。
P77-D1壓電移相器
空載諧振頻率: 0.15kHz
空載階躍時間: 3.5ms
承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置5kg
外形尺寸（長×寬×高）:160×160×35mm
通孔尺寸: Ø106mm
重量: 2kg
P77-D2壓電移相器
空載諧振頻率: 0.3kHz
空載階躍時間: 2ms
承載能力: 正立7kg, 臥式1kg, 倒置5kg
外形尺寸（長×寬×高）: 80×80×35mm
通孔尺寸: Ø36mm
重量: 610g
P77-D3壓電移相器
空載諧振頻率: 0.14kHz
空載階躍時間: 2.5ms
承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置5kg
外形尺寸（長×寬×高）: 200×200×37mm
通孔尺寸: Ø160mm
重量: 2400g
P77-D4壓電移相器
空載諧振頻率: 0.12kHz
空載階躍時間: 3.5ms
承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置2kg
外形尺寸（長×寬×高）: 220×220×39mm
通孔尺寸: Ø160mm
重量: 2.9kg
P77-D5壓電移相器
空載諧振頻率: 0.1kHz
空載階躍時間: 2.5ms
承載能力: 正立10kg, 臥式5kg, 倒置5kg
外形尺寸（長×寬×高）: 265×265×35mm
通孔尺寸: Ø210mm
重量: 2.9kg
芯明天可提供壓電式移相器的快速定制設(shè)計，*匹配客戶設(shè)備的使用要求，定制周期短，具有較高的成本優(yōu)勢，非常適用于先進(jìn)的工業(yè)化檢測設(shè)備。
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